Sims
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二次离子质谱(SIMS)是一种高灵敏度的表面分析技术,通过一次离子束轰击样品产生二次离子,分析其质量电荷比,获取表面元素和分子信息。该技术具有全元素检测、同位素分析、高分辨率成像及深度剖析能力,分析深度通常小于1纳米。其应用涵盖半导体、生物医药、材料科学及地质研究等领域。
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二次离子质谱(SIMS)是一种高灵敏度的表面分析技术,通过一次离子束轰击样品产生二次离子,分析其质量电荷比,获取表面元素和分子信息。该技术具有全元素检测、同位素分析、高分辨率成像及深度剖析能力,分析深度通常小于1纳米。其应用涵盖半导体、生物医药、材料科学及地质研究等领域。
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