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薄膜集成电路
薄膜集成电路
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薄膜集成电路采用薄膜工艺在蓝宝石、石英玻璃、陶瓷、覆铜板基片上制作电路元、器件及其接线,并加以封装而成。薄膜工艺包括蒸发、溅射、化学气相淀积等。特点为电阻、电容数值控制较精确,且数值范围宽,但集成度不高,主要用于线性电路。
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